Keskenduge spetsiaalsele gaasitööstusele

Elektroonikagaasid hõlmavad elektroonilisi erigaase ja elektroonilisi puistegaase.Need on asendamatud ja võtmematerjalid integraallülituste, kuvapaneelide, pooljuhtvalgustuse, fotogalvaanika ja muude tööstusharude tootmisprotsessis.Elektroonilised erigaasid on integraallülituse tootmiseks vajalikud tugimaterjalid.Neid kasutatakse laialdaselt fotolitograafias, söövitamisel, kile moodustamisel, puhastamisel, dopingul, sadestamisel ja muudes protsessilülides.Neil on kõrged nõuded puhtusele, stabiilsusele, pakendamismahutitele jne, mida tuntakse pooljuhtide tööstuse "toiduna" ja "verena".Integraallülituste tootmine hõlmab tuhandeid protsesse, mis on äärmiselt keerulised ja nõuavad sadade elektrooniliste erigaaside kasutamist.Integraallülituste valmistamisel saab elektroonikagaasid erinevate protsesside järgi jagada dopinggaasideks, ioonide implantatsioonigaasideks, puhastusgaasideks, söövitusgaasideks ja fotolitograafiagaasideks;elektroonilisi gaase kasutatakse laialdaselt ja neil on kõrged tehnilised nõuded.Allikatele ja nende toitesüsteemidele on kõrged nõuded.Gaasi puhtus on spetsiaalsete gaasitoodete põhiparameeter, mis nõuab ülipuhast ja ülipuhtust.Ultrapure nõuab gaasi puhtust, et jõuda 4,5 N, 5N või isegi 6N või 7N-ni.Iga kord, kui puhtus suureneb ühe N võrra ja iga kord, kui osakeste ja metallide lisandite kontsentratsioon väheneb ühe suurusjärgu võrra, suureneb gaasi puhtus ühe suurusjärgu võrra.Olulised täiustused protsessi keerukuses ja raskustes.Segagaasi puhul on põhiparameetriks proportsiooni täpsus.Kuna toote koostisosad suurenevad ja ettevalmistuse täpsus suureneb, peavad gaasitarnijad sageli tegema täpseid toiminguid gaasikomponentidega, mille kontsentratsioon on erinev ppm või isegi ppb tasemel.